检测同时支持线宽测量及套刻测量三合一，表面缺陷检测能力可达0.3um。

自动检测无需人工，单机缺陷检测模式灵活高效多种方式的缺陷和自动缺陷分类

单层图形和多层图形检测，及自定义区域检测·高精度线宽量及套刻尺寸测量系统。

自动脚本编程能力和自动化运行。

自带自动检测料盒功能，自带Mapping 功能，双面检测。